プラズマ計測、プラズマ内の原子分子過程

プロセスプラズマと材料、プロセスモニタとしてのプラズマ計測

プラズマ物理学--超音速膨張プラズマジェットと空間電位

レーザー発生用プラズマ、レーザーによるプラズマ診断、同位体

【最近の研究から】

１．プラズマ内の原子分子過程と、プラズマ分光学、新型プラズマ診断方法の開発

　-　 (1)衝突輻射モデルを応用した、非平衡プラズマの電子温度・密度の分光計測法の開発

　-　 (2) 大気圧非平衡プラズマの発光分光計測---線スペクトルと励起状態の生成消滅、連続スペクトルと電子温度・密度・電子エネルギー分布関数の測定

　-　 (3)低気圧非平衡分子気体放電プラズマの診断--分子スペクトル解析から

　-　 (4)非平衡プラズマの分光特性への電子エネルギー分布関数の影響

２．プラズマプロセス工学・材料工学

　-　 (1) 各種窒素プラズマによる金属の表面窒化--プラズマパラメータによる依存性

　-　 (2) 酸素プラズマによるチタンの酸化--どのプラズマパラメータが重要ですか？

　-　 (3) 太陽電池薄膜作成プラズマプロセスの診断への発光分光計測の応用

　-　 (4) 各種の大気圧プラズマプロセスへの発光分光計測の応用

３．プラズマ物理学--超音速膨張プラズマジェットと空間電位--プラズマ推進の基礎

　-　 (1)膨張プラズマジェットの超音速加速と電位形成メカニズム

４．新型放電励起レーザーの基礎研究

　-　 (1) 定常再結合プラズマ中の反転分布、プラズマジェットの分光研究

　-　 (2) 放電励起酸素ヨウ素レーザーのための酸素プラズマ

５．プラズマ状態を利用した同位体分離の基礎研究

　-　 (1)直流放電希ガス同位体分離の基礎研究

　-　 (2)分子性気体の振動励起状態密度差に着目したプラズマ同位体分離