【各種窒素プラズマによる金属の表面窒化〜プラズマパラメータによる依存性】

　-　 H. Kobori, S. Koike, S. Watanabe, M. Matsuzaki, H. Matsuura and H. Akatsuka,
Dependence of Nitriding Degree of Ti Surface by Non-LTE Nitrogen Plasma on Various Plasma Parameters,
Thin Solid Films, Vol. 457, pp. 69, 2004.