【酸素プラズマによるチタンの酸化〜どのプラズマパラメータが重要ですか？】

　-　 S. Kakizaka, T. Sakamoto, H. Matsuura and H. Akatsuka,
Titanium Oxidation by Microwave Discharge Oxygen Plasma and Relationship with Plasma Parameters,
J. Adv. Oxid. Technol., Science & Technology Network, Inc., Vol. 10, No. 2, pp. 253-259, Jul. 2007.