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プラズマエレクトロニクス
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赤塚研究室
住所 〒152-8550 東京都 目黒区 大岡山 2-12-1-N1-10
研究室 大岡山キャンパス 北１号館 ４１３号室
電子メール hakatsuk[at]zc.iir.titech.ac.jp
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キーワード
プラズマ理工学、プラズマ計測、原子分子過程、プラズマ分光
プラズマエレクトロニクス、プロセスプラズマの発光分光計測
ドライエッチング向けICPプラズマの空間分解発光分光計測
医科歯科応用向け大気圧非平衡プラズマの連続スペクトル発光分光計測
アークプラズマによる原子炉廃止措置
希薄流体、粒子法によるプラズマシミュレーション