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プラズマエレクトロニクス
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赤塚研究室 [なお、赤塚は2028年3月末で定年となります]
住所 〒152-8550 東京都 目黒区 大岡山 2-12-1-N1-10
研究室 大岡山キャンパス 北１号館 ４１３号室
電子メール hakatsuk[at]zc.iir.isct.ac.jp
上記の[at]を、アットマークに修正の上、メールしてくださるようお願いします。
キーワード
プラズマエレクトロニクス、プラズマの発光分光計測、原子分子過程、プラズマ分光学
プラズマ理工学、プロセスプラズマ
ドライエッチング向けICPプラズマの空間分解発光分光計測
医科歯科応用向け大気圧非平衡プラズマの連続スペクトル発光分光計測
エントロピー理論による非平衡状態における「温度」の再定義
希薄流体、粒子法によるプラズマシミュレーション